无油干式机械真空泵的工作原理是什么?

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无油干式机械真空泵的工作原理是什么?

* 来源: Cloud * 作者: YiQiSeo * 发表时间: 2019-06-14 10:45:57 * 浏览: 3
无油干式机械真空泵(也称为干式机械泵)意味着泵可以从大气压开始泵送,并且可以将泵送的气体直接排放到大气中。泵室内没有油或其他工作介质,泵的极限压力等于或接近油封真空泵的压力。目前,真空工业中使用的大多数机械真空泵使用诸如油,水或其他聚合物的流体作为泵的工作介质,其用作泵中的冷却,密封和润滑。随着科学技术的发展和真空应用的扩展,原有的机械式真空泵及其排气系统有两个亟待解决的问题:一是泵的工作介质被泵送容器污染,而这又回归于在许多情况下,流量会影响产品的质量和数量,并增加设备的维护成本。其次,由于某些过程中的反应材料导致真空泵中介质的劣化,泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统,尽管油封真空泵可以与冷阱或吸附阱等附件一起使用以防止回流,但它们并不能完全解决问题并使系统复杂化。使用合适类型的干式机械真空泵可以获得所需的结果。干式机械真空泵的应用范围很广,主要表现在以下几个方面:1)在低压化学气相沉积中制备多晶硅的工艺,2)半导体刻蚀工艺。在这些生产过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨料颗粒。 3)用于产生除半导体工艺之外的颗粒的一些方法不需要将颗粒混入泵油中,但是希望在泵外部使用某些类型的颗粒。干式机械真空泵可以满足要求。 4)化学工业,制药工业,食品工业等的蒸馏,干燥,消泡,包装等,防止有机溶剂污染,适用于干式真空泵,5)一般用途无油清洁真空泵前端泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到了迅速发展,许多大型国外真空泵公司开发了新型干式机械真空泵。国内许多单位也在开发和开发干式机械真空泵,如东北大学,沉阳真空技术研究所和上海真空泵厂。目前,干式机械真空泵主要分为接触式和非接触式。接触式干式泵有叶片式,凸轮式,往复式活塞式,隔膜式等。这些泵速度低,适用于小容量和高压缩比(单级压缩比)。非接触式干式泵具有罗茨式,爪式,螺旋式,涡旋式等,并且具有高速,并且适用于大容量和低压缩比(参见单个) - 阶段压缩比率)。不同类型的干泵具有各自的特点。使用时,可根据不同用途进行选择。